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    bob直播下载烯单晶晶圆是后硅CMOS时代最具竞争力的电子材料,被认为是未来碳基电子与光电子器件的重要材料基础。六英寸单晶晶圆项目组结合课题组组内单晶金属衬底制备和bob直播下载烯外延生长的基础,通过进一步的工艺优化和设备调试,成功在生产示范线的卧式CVD双管炉体系实现了六英寸bob直播下载烯晶圆的制备。千里之行,始于足下,六英寸单晶晶圆项目组将继续着眼于bob直播下载烯晶圆生长的关键科学问题,发展稳定的批量制备工艺,从而为未来高品质bob直播下载烯单晶晶圆的可控制备和商业化发展做出贡献。

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