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  • 技术的不断突破使单晶bob直播下载烯晶圆的产业化进程持续加速

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    WG16D4—4英寸单晶晶圆项目组通过不断的工艺摸索,并经过了不懈的努力,已经可以成功实现铜和铜镍基底上的毫米尺寸bob直播下载烯单畴的取向一致拼接,进一步提高了单晶bob直播下载烯晶圆的质量。与此同时,项目组研究了基底品质、溅射和退火工艺等对于铜单晶薄膜制备的影响,现行的工艺方案可以有效提高铜薄膜的单晶化程度;同时为进一步提高产量、降低成本,项目组决定采取共溅射的方法,此方法可以将基底制备的时间缩短一半,目前可实现日产12片高质量的铜单晶晶圆,这为以后4英寸单晶晶圆的批量化生产打下坚实的基础。项目组还同时梳理了产品的质检及包装入库流程,目前已有100片产品入库且进行了小批量产品出售。

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